特許
J-GLOBAL ID：200903084669463388
パターン検査方法および検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006392
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208954
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、プリント板上で電子部品に接続するランドパターンを含む導体のパターンを検査する方法および装置に関し、特にランドパターンを検査する際にセンサがオーバーフローになっても正確な検査を行うことを目的とする。【構成】 パターン検査基準となるパラメータにより予め規定されたランド直径の最大規定値および最小規定値を使用してランドパターンの標準半径の値を前もって導き出し、複数の方向のセンサにより各方向毎にランドパターンの半径値を測定し、ある方向のセンサがオーバーフローになったときに、標準半径の値と、上記の方向と相反する方向で測定された半径値とからランドパターンの直径の値を算出し、算出された直径の値とランド直径の最大規定値および最小規定値とを比較し、算出された直径の値が最大および最小規定値の範囲内に入っているか否かをチェックすることにより、欠陥の存在を検出するように構成する。
請求項（抜粋）：
各種の電子部品を実装するためのプリント板に形成され、かつ、該電子部品に接続するランドパターン(12)を含む導体のパターンを検査して該パターンの良否を決定するためのパターン検査方法において、前記のパターン検査時の検査基準となる検査パラメータにより予め規定されている前記ランドパターン(12)の直径の値の最大規定値(21)および最小規定値(22)を使用し、該ランドパターン(12)の標準半径(23)の値を前もって導き出すステップと、複数の方向に配置されたセンサにより、各方向毎に前記ランドパターン(12)の半径の値をそれぞれ測定するステップと、ある特定の方向における前記ランドパターン(12)の半径の値がオーバーフローの状態になったときに、前記の前もって導き出された標準半径(23)の値と、該特定の方向と相反する方向において測定された前記ランドパターン(12)の半径の値とから該ランドパターン(12)の直径の値を算出するステップと、該算出されたランドパターン(12)の直径の値と、前記の前もって導き出された前記最大規定値(21)および前記最小規定値(22)とを比較し、該ランドパターン(12)の直径の値が、該最大規定値(21)および該最小規定値(22)の範囲内に入っているか否かをチェックすることにより、それぞれ、該ランドパターン(12)に欠陥が存在するか否かを判定するステップとを有することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H05K 3/00
