特許

J-GLOBAL ID：200903084680914553

耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法

発明者： 山崎 康裕 ,  剣持 克彦
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-027211
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193977
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】発泡性の高純度シリカゲルを加熱発泡させ、得られた非晶質二酸化けい素発泡体を粉砕して150μm以下の粒径に調整するこ耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法。【効果】本発明の方法は、その操作が容易で、得られる耐熱性石英ガラス製造用粉末材料は、ベルヌイ法等のガラス化処理によって耐熱性の顕著に向上した高純度で透明な石英ガラスを効果的且つ工業的に有利に製造することができ、特に、半導体熱処理用治具として有用で、その実用的価値は極めて高い。

請求項（抜粋）：

発泡性の高純度シリカゲルを加熱発泡させ、得られた非晶質二酸化けい素発泡体を粉砕して150μm以下の粒径に調整することを特徴とする耐熱性石英ガラス製造用粉末材料の製造方法。

IPC (4件)：

C03C 3/06 ,  C01B 33/157 ,  C01B 33/18 ,  C03B 20/00