特許

J-GLOBAL ID：200903084681970538

熱処理装置及びその運用方法

発明者： 渡辺 伸吾
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062659
公開番号（公開出願番号）：特開2001-248969
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 冷却水等の冷媒の流量が所定値以下に低下した状態を一定の期間継続した時に初めて電力供給を遮断するようにして、安全性を高く維持しつつ例えば流量変動が頻繁に生ずるような場合にその影響を軽減することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】 処理容器4内で被処理体Wに対して所定の熱処理を施すために加熱ヒータ手段12と構成部材10,12,18,20を冷却する冷却系42〜48とを有する熱処理装置において、前記冷却系に流れる冷媒の流量を検出する流量計42C〜48Cと、前記流量計の出力が流量所定値以下の状態を示している時間を計測するタイマ手段42E〜48Eと、前記タイマ手段の出力に基づいて前記加熱ヒータ手段への電力供給を断つ電力遮断リレー手段42F〜48Fとを備える。これにより、冷却水等の冷媒の流量が所定値以下に低下した状態を一定の期間継続した時に初めて電力供給を遮断するようにして、安全性を高く維持しつつ例えば流量変動が頻繁に生ずるような場合にその影響を軽減する。

請求項（抜粋）：

処理容器内で被処理体に対して所定の熱処理を施すために加熱ヒータ手段と構成部材を冷却する冷却系とを有する熱処理装置において、前記冷却系に流れる冷媒の流量を検出する流量計と、前記流量計の出力が流量所定値以下の状態を示している時間を計測するタイマ手段と、前記タイマ手段の出力に基づいて前記加熱ヒータ手段への電力供給を断つ電力遮断リレー手段とを備えたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (7件)：

F27B 5/18 ,  F27B 5/10 ,  F27B 5/14 ,  F27D 19/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/324

FI (7件)：

F27B 5/18 ,  F27B 5/10 ,  F27B 5/14 ,  F27D 19/00 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/324 G

Fターム (21件)：

4K056AA09 ,  4K056BA01 ,  4K056BB06 ,  4K056CA18 ,  4K056FA01 ,  4K056FA02 ,  4K061AA01 ,  4K061AA05 ,  4K061BA11 ,  4K061CA08 ,  4K061CA13 ,  4K061CA19 ,  4K061DA05 ,  4K061GA01 ,  4K061GA02 ,  5F045BB20 ,  5F045DP19 ,  5F045EJ09 ,  5F045EK06 ,  5F045GB04 ,  5F045GB15