特許

J-GLOBAL ID：200903084684358027

レーザ波長制御を較正するための方法及び装置

発明者： フォメンコフ,イゴル
出願人/特許権者： サイマー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 山川 政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-508696
公開番号（公開出願番号）：特表平10-506185
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】レーザの波長調整機構(104)の較正が、中空の陰極吸収ランプ(114)を用いて実施される。そのランプには、精確に分かっている最大吸収波長を有する気化材料が与えられている。光検出器(130)が、波長の関数として、気化材料によってレーザ・ビームから吸収される光の量を検出する。最大吸収が得られるように、レーザの波長を調整することによって、実際のレーザ・ビームの波長と予測される波長を比較して、較正オフセットを求めることが可能になる。中空の陰極ランプ(114)は、既知の吸収特性の気化材料を生じる働きをするが、従来のオプト・ガルバニック共鳴に必要なレベルよりかなり低いレベルで照射される。

請求項（抜粋）：

レーザ・ビームの波長が調整可能なレーザによって発生する実際のレーザ波長を求めるための装置において、 レーザから出力されるレーザ・ビームの一部の光路内に配置され、既知の最大吸収波長を有する気化材料を充填した室を備え、前記レーザ・ビームによって、前記気化材料の一部が照射され、前記レーザ・ビームの一部が前記気化材料によって吸収されるようになっている、中空の陰極ランプと、 前記気化材料による前記レーザ・ビームの吸収量を検出するための手段と、 検出された吸収量と既知の最大吸収波長との比較からレーザ・ビームの実際の波長を求めるための手段から構成される、 装置。

IPC (3件)：

G01J 3/51 ,  H01S 3/13 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

G01J 3/51 ,  H01S 3/13 ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-272175
  
• 特開昭63-280483
  
• 特開平2-238685
  
• 特開昭63-122922