特許

J-GLOBAL ID：200903084684604915

光学部材

発明者： 谷 裕久 ,  前岡 裕徳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-310313
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137102
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】波長100nm〜300nmの光を透過する光学基板及びその基板上に形成された光学薄膜の双方が本来のレーザー耐久性を維持することが可能な光学部材を提供する。【解決手段】波長100nmから300nmの光を透過する光学基板と、該光学基板上に形成された酸化物層と、該酸化物層上に形成されたフッ化物層(単層又は多層)と、を有する光学部材。

請求項（抜粋）：

波長100nmから300nmの光を透過する光学基板と、該光学基板上に形成された酸化物層と、該酸化物層上に形成されたフッ化物層(単層又は多層)と、を有する光学部材。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00

FI (3件)：

G02B 1/10 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A

Fターム (16件)：

2K009AA05 ,  2K009AA06 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009EE00 ,  4F100AA05C ,  4F100AA17B ,  4F100AA19B ,  4F100AA20B ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100GB90 ,  4F100GB90A ,  4F100JL00