特許
J-GLOBAL ID：200903084687827664
表面抵抗測定用治具およびその測定系構成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-023150
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220159
出願日： 1995年02月10日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 簡易に測定することができる表面抵抗測定用治具を提供することである。【構成】 治具10Aは、金属板1A,1Bを所定の間隔で平行に支持している。標準共振器5は、金属板1A,1Bの表面抵抗測定時に金属板1A,1B間に実装され、誘電体材料で形成されている。標準共振器5は、共振器51と、第1の共振器51と結合することにより生じる2つ以上の異なる周波数において共振ピークを生成する1つの結合共振器を形成する共振器52とを含んでいる。
請求項（抜粋）：
少なくともその表面が導電材料で形成された一対の導体の表面抵抗を測定可能な治具であって、前記導体を所定の間隔で平行に支持する支持手段と、前記表面抵抗測定時に前記導体間に実装され、誘電体材料で形成された標準共振器とを備え、前記標準共振器は、第1の共振器と、前記第1の共振器と結合することにより生じる、2つ以上の異なる周波数において共振ピークを生成する1つの結合共振器を形成する第2の共振器とを含む、表面抵抗測定用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 27/02 R
, G01R 27/26 T
