特許
J-GLOBAL ID：200903084689118156
光学式変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160117
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 レーザを利用した光学式変位検出装置の構造をユニット化し且つ単純化するとともにノイズを除去し検出感度を高める。【構成】 可干渉光6を放射する光源ユニット11と、干渉縞1を生成する干渉光学系ユニット2と、空間格子4が形成されており、干渉縞1を横切る様に変位する移動体3と、空間格子4を介して干渉縞1を受光し移動体3の変位を検出する受光ユニット5とからなる。干渉光学系ユニット2は、可干渉光6を二本の光束7,8に分割しX偏光成分に対応したA相干渉縞、Y偏光成分に対応したB相干渉縞を生成する。一方の光路8には位相変調部材13が介在しておりX,Y偏光成分に相対的な波面位相差を与えて、A相干渉縞及びB相干渉縞の間に空間的位相差を発生せしめる。受光ユニット5はA相干渉縞、B相干渉縞を分離受光し、両者の受光量変化の位相差により移動体3の変位方向検出を可能とする。
請求項（抜粋）：
可干渉光を放射する光源ユニットと、所定の周期を有する干渉縞を生成する干渉光学系ユニットと、該周期に対応したピッチ間隔を有する空間格子が形成されており干渉縞を横切る様に変位する移動体と、該空間格子を介して干渉縞を受光し移動体の変位を検出する受光ユニットとを備えた光学式変位検出装置であって、前記光源ユニットは互いに直交する偏光成分を含んだ可干渉光を放射し、前記干渉光学系ユニットは、可干渉光を互いに所定の角度で交差する光路に沿って二本の光束に分割し交差領域に直交偏光成分の夫々について干渉縞を生成する光路分割部材を有しており、一方の光路には位相変調部材が介在しており一方の光束に含まれる直交偏光成分に相対的な波面位相差を与え、夫々についての干渉縞に空間的位相差を発生せしめ、前記受光ユニットは、直交偏光成分の夫々について干渉縞を分離受光し、両者の受光量変化の位相差により移動体の変位方向検出を可能とする光学式変位検出装置。
引用特許：
前のページに戻る
