液処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-076547
公開番号（公開出願番号）：特開平5-277456
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：

【要約】【目的】本発明は、液晶表示素子用ガラス基板の液処理装置、特に洗浄工程,現像工程,エッチング工程,剥離工程に用いる液処理装置において、搬送幅の異なるガラス基板を1枚毎に1台の処理装置で処理可能な構造とする事にある。【構成】被処理物の移動方向を規制して搬送し、液処理を行う装置において、被処理物の移動方向を規制する部分を移動させる機能を設けることにより達成される。【効果】異なる搬送幅の基板を1枚毎に1台の液処理装置、一例として洗浄装置で処理する事が出来るため、各基板毎に均一な処理が行え、異なる基板寸法の液晶表示素子を効率よく生産出来るという効果がある。

請求項（抜粋）：

被処理物の移動方向を規制して搬送し、処理を行う装置において、被処理物の移動方向を規制する部分を移動させ、幅の異なる被処理物を同一装置で処理を行う機能を有することを特徴とする液処理装置。

IPC (7件)：

B08B 11/04 , B65G 13/12 , B65G 49/02 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306 , H01L 21/68

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