特許
J-GLOBAL ID：200903084691236441
ウエハ接着装置およびその装置を用いたウエハの接着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-044661
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082493
出願日： 1991年03月11日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】本発明はウエハの接着装置およびその装置を用いたウエハの接着方法に関し、貼付プレ-トとウエハの間の接着層に侵入および残留するエアを効率的に排除するとともに、安定した接着層を得る方法を提供することにある。【構成】ウエハをプレ-トに接着するためのウエハ接着装置は加圧シリンダ6と、ウエハ加圧部分が円錐形の凸形状の付いた弾性体1と、弾性体1の縦方向の変形を吸収するクリアランス7と、弾性体1の横方向の変形を防止する押え部材8とを有し、その弾性体をウエハに圧接することによりウエハをプレ-トに接着させることにより達成される。【効果】貼付プレ-トとウエハの間の接着層に侵入および残留するエアを効率的に排除でき、更にウエハ外周部にも十分な加圧力が加わり、ウエハ外周部の押圧ムラを防止することができる。
請求項（抜粋）：
ウエハを加圧するための加圧面が凸形状を成す弾性体により構成され、該加圧面に対する反対主面にはクリアランスが設けられ、該弾性体周囲には押え部材が設けられて成ることを特徴とするウエハ接着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 321
, C09J 5/00 JHC
, H01L 21/68
