特許
J-GLOBAL ID：200903084693244000
プラズマを含む開放共振器に固定されたマイクロ波発振器を用いた電子密度の測定及びプラズマ処理制御システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-511588
公開番号（公開出願番号）：特表2003-505828
出願日： 2000年07月20日
公開日（公表日）： 2003年02月12日
要約：
【要約】【課題】本発明の課題は、プラズマを含む開放共振器に固定されたマイクロ波発振器を用いた電子密度の測定及びプラズマ処理制御システムを提供することである。【解決手段】本発明は、プラズマ電子密度(1010〜1012cm-3程度)を測定し、プラズマ発生器を制御するシステムであり、フィードバック制御によるプラズマ密度の測定を用いて、プラズマ電子密度を予め選択された値に管理するためのプラズマ発生器を制御する制御電圧を生成し、開放共振器内へのプラズマの導入により共振周波数が変化したときに、局部発振器の周波数を開放マイクロ波共振器の共振周波数に固定する周波数安定化システムである。また第2のマイクロ波弁別器の増幅された出力電圧によりプラズマ発生器を制御する。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生器を制御するシステムにおいて、 共振周波数で共振する開放共振器と、 変動する周波数を有する出力を有する発振器と、 前記共振周波数と前記変動する周波数との差を測定し、補正信号を前記発振器に印加して前記変動する周波数を、前記共振周波数に実質的に整合させるために変化させる制御回路と、を具備するシステム。
引用特許：
引用文献：
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