特許
J-GLOBAL ID：200903084695116840
基板保持チャック、基板保持ユニット及び基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307374
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 基板処理槽を小さくするとともに、パーティクルの発生を抑える。【構成】 基板処理装置1は、主面が縦に配置されたウエハWを処理液で処理する装置であって、基板処理部5と第3基板搬送ロボット10とを備えている。基板処理部5は、立壁56及び傾斜面58にウエハWの側面を支持する保持部材57,59を設けた基板処理槽55を有している。第3基板搬送ロボット10は、ウエハWの主面と交差する配列方向に所定間隔で配置されかつ縦方向に延びる基板吸着アーム48を有している。基板吸着アーム48の両面には、ウエハWの裏面を吸着するための吸着孔49が形成されている。
請求項（抜粋）：
主面が縦に配置された基板を保持する基板保持チャックであって、縦方向に延びる保持アームと、前記保持アームの少なくとも一面に設けられ、前記基板の主面を吸着するための基板吸着部と、を備えた基板保持チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
