特許
J-GLOBAL ID：200903084695876623
洗浄装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119505
公開番号（公開出願番号）：特開平9-276814
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：
【要約】【課題】 磁気記録媒体用基板に良好な洗浄面を提供できるようにすること。【解決手段】 スクラブパッド12のパッド面13を磁気記録媒体用基板1に押し当て、両者を相対運動させながら洗浄する洗浄装置10において、スクラブパッドの上記磁気記録媒体用基板が接触する領域は、凹部が形成されないものである。
請求項（抜粋）：
洗浄用パッドのパッド面を被洗浄物に押し当て、両者を相対運動させながら洗浄する洗浄装置において、上記洗浄用パッドの上記被洗浄物が接触する領域は、凹部が形成されていないことを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B08B 7/04 A
, G11B 5/84 Z
