特許
J-GLOBAL ID：200903084705458485
電磁式ミラー装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河宮 治
, 石野 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148794
公開番号（公開出願番号）：特開2004-354442
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】ミラー基板を大きくすることなく、コイルの巻き数を十分に増やすことができる電磁式ミラー装置を提供する。【解決手段】電磁式ミラー装置においては、ミラー基板2上にCr/Auからなるミラー1が設けられている。ミラー基板2には4本のリンク梁3が結合されている。各リンク梁3はミラー1の端部よりミラー基板中心軸に近い位置で、ミラー基板2に結合されている。ミラー基板2の左右には、ミラー基板中心軸に対して対称となる位置に駆動フレーム4が配設されている。各駆動フレーム4は、2本のリンク梁3を介してミラー基板2と連結されている。駆動フレーム4上には、アルミニウムからなる電気的導体経路5が配設され、電気的導体経路5の両端には電極パッド6が配設されている。駆動フレーム4は下地基板8の上面に結合されている。枠9の左右の両辺部の上には永久磁石10が設置されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
上面にミラーが設けられたミラー基板と、
ミラー基板とは別体に形成された可動駆動フレームと、
ミラー基板と可動駆動フレームとに結合され、ミラー基板を支持するリンク梁と、
可動駆動フレーム上に配置され、通電により磁界を発生させる電気的導体経路と、
外枠上に配置された永久磁石と、
可動フレーム又はミラー基板のねじれ角又は変位を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする電磁式ミラー装置。
IPC (3件)：
G02B26/10
, G02B5/08
, G02B26/08
G02B26/10 104Z
, G02B5/08 Z
, G02B26/08 E
2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC04
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
, 2H042AA02
, 2H042AA32
, 2H042DA03
, 2H042DA05
, 2H042DA10
, 2H042DA12
, 2H042DA20
, 2H042DC03
, 2H045AB06
, 2H045AB16
, 2H045AB73
