特許
J-GLOBAL ID：200903084705736345

レーザー測長器

発明者：
宮田 弘幸

宮田 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-134321
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329408
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】 被測定面の微細な凹凸の影響を受けない精度の高い変位測定を行う。【解決手段】 レーザー測長器は、レーザービームを出射するレーザーヘッド1と、レーザービームを測定ビームと参照ビームに分割するビームスプリッタ2と、参照ビームを反射する参照ミラー3と、測定ビームを1方向のみに収束させ、被測定物体5の表面にスリット状に集光するとともに、被測定物体5で反射された反射ビームを平行光にしてビームスプリッタ2に戻す対物レンズ4aと、被測定物体5からの反射ビームを参照ミラー3で反射された参照ビームと干渉させるビームスプリッタ2(干渉計)からの干渉光の強度を検出する光検出器6と、光検出器6の出力に基づいて、基準点からの被測定物体5の移動量あるいは移動速度を測定する測長回路7とで構成される。
請求項（抜粋）：
被測定物の移動量を測定するレーザー測長器において、光源から出射されたレーザービームを第1のビームと第2のビームに分割するとともに、参照ミラーから反射されて戻る第1のビームと前記被測定物から反射されて戻る第2のビームを干渉するように合成し干渉光を出射する干渉計と、この干渉計から出射される第2のビームを1方向にのみ集光して前記被測定物表面に照射し、この被測定物表面からの反射光を再び平行ビームにして前記干渉計に戻す対物レンズ光学系と、前記干渉計から出射される干渉光の強度を検出して電気信号に変換する光検出器と、この光検出器の出力に基づき測長を行う測長回路とを備えることを特徴とするレーザー測長器。
IPC (6件)：
G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G02B 13/00 ,  G11B 7/085 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/26 501
FI (6件)：
G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G02B 13/00 ,  G11B 7/085 E ,  G11B 7/09 C ,  G11B 7/26 501
Fターム (52件)：
2F064AA01 ,  2F064BB01 ,  2F064CC01 ,  2F064DD01 ,  2F064DD08 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064FF06 ,  2F064GG00 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG44 ,  2F064GG45 ,  2F064HH01 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA01 ,  2F065AA21 ,  2F065BB06 ,  2F065CC03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2H087KA12 ,  2H087LA26 ,  2H087PA02 ,  2H087PA17 ,  2H087PB02 ,  2H087QA11 ,  2H087QA21 ,  2H087QA22 ,  2H087QA31 ,  2H087QA41 ,  2H087QA42 ,  5D117AA02 ,  5D117FF25 ,  5D117FF28 ,  5D117JJ05 ,  5D118BA01 ,  5D118BB09 ,  5D118CA15 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38
引用特許：
審査官引用 (10件)
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