特許
J-GLOBAL ID：200903084709314259
原点検出装置および原点検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153913
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002717
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 明暗パターンのぼけを抑制して原点パルスのエッジが極力変動しない原点検出装置および原点検出方法を提供する。【解決手段】 メインスケール15は、平行光線PLを任意の明暗パターンで通過させる。このとき、段差17aによってその直下で光干渉が生じる。この光干渉が明暗パターンの暗領域18を形成する。インデックススケール16では、明暗パターンの暗領域18に沿って区画された暗領域パターン19を用いて明暗パターンの光線を通過させる。受光素子10は、原点スリット20を通過した光線の光量を測定する。受光素子10が検出する光量が最低レベル領域にあるときにその明暗パターンの位置を原点位置として定める。
請求項（抜粋）：
供給された平行光線を任意の明暗パターンで通過させる第1スケールと、前記明暗パターンの暗領域に沿って区画された暗領域パターンを用いて前記明暗パターンの光線を通過させる第2スケールと、この第2スケールを通過した光線の光量を検出する受光素子とを備え、受光素子が検出する光量が最低レベル領域にあるときにその明暗パターンの位置を原点位置として定める原点検出装置において、前記第1スケールは、光透過性材の段差が引き起こす光干渉に基づいて前記暗領域を形成することを特徴とする原点検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, G01D 5/38 A
