特許

J-GLOBAL ID：200903084713682955

半導体加速度検出装置

発明者： 今村 政幸 ,  三好 基秀 ,  山本 雅裕
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258915
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082471
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 パッケージ内に混入した気泡が加速度検出梁の動作を妨げるのを防止して、加速度検出精度の向上を図る。【構成】 容器Yの蓋内面のくぼみ11,気泡だめ12,くぼみ11A,気泡だめ溝13a,傾斜部14や、パッケージを構成する傾斜状の天板の隅部に気泡を集中移動させて保持させる。

請求項（抜粋）：

半導体のピエゾ抵抗効果を利用して、応力を電気信号に変換することで加速度を検出するゲージ抵抗を有する加速度検出梁と、該加速度検出梁を粘性のあるオイル内に封入するパッケージおよびこのパッケージを塞ぐ蓋からなる容器と、該容器内において片持ち支持された上記加速度検出梁の一端に取り付けられたおもりと、上記蓋の内面に形成されて、上記加速度検出梁または上記おもり周辺の上記オイル中に生じた気泡を集中させて保持するくぼみとを備えた半導体加速度検出装置。