特許
J-GLOBAL ID：200903084715469833
ペリクル収納容器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245823
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110631
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】本発明は、収納するペリクル膜に、異物等が付着しないようにすると共に、ペリクル膜の汚損を防止して歩留りを向上させることのできるペリクル収納容器を提供する。【構成】このペリクル収納容器は、中央部に環状フレームに装着されたペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器であって、その材料が親水性ポリマーを樹脂中に分散させた帯電防止樹脂からなるものである。
請求項（抜粋）：
中央部に環状フレームに装着されたペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆・保持すると共に容器本体と互いに周縁部で嵌合係止する蓋体とからなるペリクル収納容器であって、その材料が親水性ポリマーを樹脂中に分散させた帯電防止樹脂からなることを特徴とするペリクル収納容器。
IPC (3件)：
G03F 1/14
, B65D 85/86
, H01L 21/027
B65D 85/38 S
, H01L 21/30 502 P
