特許

J-GLOBAL ID：200903084717795061

混合ガス供給システム

発明者： 森 茂 ,  久保 充司 ,  山崎 紀男 ,  三室 公厚
出願人/特許権者： 大陽東洋酸素株式会社 ,  ガスミックス工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294078
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128102
出願日： 1996年11月06日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 圧力変動に拘わらず、所望の混合精度を確保しつつ、安定した混合比率の混合ガスを得ることができる混合ガス供給システムを提供する。【解決手段】 原料ガス1a,1bを混合器2に導入させるガス導入路3,4と、各原料ガス1a,1bの混合器2への導入量を一定に調整する流量調整器51,52 と、流量調整器51 ,52 の入口側圧力を同一圧に制御,保持するための均圧弁14と、混合器2で得られた混合ガス1を混合ガス使用部8に供給させるガス供給路9とを具備するシステムを、流量調整器51 ,52 の入口側圧力に対する出口側圧力の圧力比が臨界圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速となる条件、上記圧力比が所定の圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速又は亜音速となる条件、又は上記圧力比が所定の圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速に達しない条件、の何れかの条件で運転させる。

請求項（抜粋）：

主原料ガスと一種又は複数種の副原料ガスとを混合させる混合器と、これらの原料ガスを混合器に導入させる複数の原料ガス導入路と、各原料ガス導入路に配設されており、主原料ガスの混合器への導入量を一定に調整する第1流量調整器及び副原料ガスの混合器への導入量を主原料ガス導入量に応じた所定量に調整する一又は複数の第2流量調整器と、これらの流量調整器の入口側圧力を所定の同一圧に制御,保持する圧力制御機構と、混合器で得られた混合ガスを所定の混合ガス使用部に供給させる混合ガス供給路と、を具備して、上記流量調整器の入口側圧力に対する出口側圧力の圧力比が臨界圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速となる条件、上記圧力比が所定の圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速又は亜音速となる条件、又は上記圧力比が所定の圧力比以下である条件であって流量調整器内におけるガス流速が音速に達しない条件、の何れかの条件で運転させるようにしたことを特徴とする混合ガス供給システム。

IPC (3件)：

B01J 4/02 ,  B01F 3/02 ,  B01F 15/04

FI (3件)：

B01J 4/02 A ,  B01F 3/02 ,  B01F 15/04 A