特許
J-GLOBAL ID:200903084722041199

シヤドウマスク用原板およびシヤドウマスク

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-238022
公開番号(公開出願番号):特開平5-074341
出願日: 1991年09月18日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【目的】 アンバー合金のような低熱膨脹特性を有する合金からなるシャドウマスク用原板において、エッチングにより穿設される孔の径や形状のばらつきをなくし、開孔マトリックスの透過光にむらが生じないようにする。また同時に、エッチング後の焼鈍工程における焼き付きも防止する。【構成】 ダル仕上げ加工等により、シャドウマスク用原板の表面粗さを、中心線平均粗さRa で 0.3を超えて 1μm 以下、表面粗さの凹凸の平均間隔Sm が100μm 以下、凸部の平均傾斜角△qが 2度〜10度という適正な値に調整する。
請求項(抜粋):
電子ビーム透過孔が形成され、シャドウマスクを製造する際に用いられる金属原板において、その表面は、中心線平均粗さRa が 0.3μm を超えて 1μm 以下、表面粗さの凹凸の平均間隔Sm が 100μm 以下、かつ表面粗さの凸部の平均傾斜角△qが 2度以上10度以下であることを特徴とするシャドウマスク用原板。
IPC (2件):
H01J 9/14 ,  C23F 1/00
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平4-103744
  • 特開昭62-253784

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