分光測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350321
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178564
出願日： 1995年12月21日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】測定領域の指定及び位置設定を自動化することにより時間及び労力を節約する。【解決手段】 CCDカメラ31で試料2の全体像を撮影し、その試料像にマウス34の操作に応じて画面上で移動するウインドウを重畳し合成画像をディスプレイ33の画面上に表示する。また、制御部35はマウス34の操作に連動して試料台1がX軸方向、Y軸方向に移動するようにモータ駆動部36を制御する。このため、作業者がディスプレイ33の画面上で所望の領域を選択すると、直ちに該領域の分光測定が実行できるように測光ユニット10と試料2との位置関係が設定される。

請求項（抜粋）：

試料台上に載置された試料を分光測定する分光測定装置において、a)試料上の一次元領域を照射するための光源手段と、b)複数の微小受光素子が二次元的に配置された光検出手段と、c)前記光検出手段の一つの次元方向に試料の一次元領域像を投影させると共に他の次元方向に波長分散させるための分光手段と、d)前記光源手段、前記光検出手段及び前記分光手段から構成される測光部と前記試料台とを前記試料の一次元領域に直交する方向に互いに相対移動するための第1の移動手段と、e)二次元領域の分光測定を行なうために前記試料の一次元領域に対する分光測定を行ないつつ前記測光部と前記試料台とを互いに相対移動させるべく前記第1の移動手段を制御する第1の制御手段と、f)試料の全体又は一部領域を撮像するための撮像手段と、g)該撮像手段により取り込んだ画像を表示するためのモニタ手段と、h)該モニタ手段に表示された画像上において所望の二次元領域を指定するために操作される位置指定手段と、i)前記測光部と前記試料台とを互いに水平方向に相対移動するための第2の移動手段と、j)前記位置指定手段により指定された所望の二次元領領域の分光測定が行なえるよう前記測光部と前記試料台とを所定の位置に設定するために前記第2の移動手段を制御する第2の制御手段と、を備えることを特徴とする分光測定装置。

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