特許
J-GLOBAL ID：200903084732228190
積層型アクチュエーター
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282653
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132578
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 製造工程が少なく容易に製造され、安定かつ良好に作動する積層型アクチュエーターを提供することを目的とする。【構成】 圧電的に活性なセラミック層1と層状内部電極2とが交互に積層された積層体と、その側面に露出した内部電極に接触させた一対の外部電極6、7とから構成される。複数の内部電極2は一対の外部電極の一方に接触するようにスクリーン印刷技術によって形成され、接触させない部分は内部電極と外部電極の間にスクリーン印刷技術により絶縁体4、5を形成する。
請求項（抜粋）：
圧電的に活性なセラミック層と層状内部電極とが交互に積層された積層体と該積層体の側面に露出した前記内部電極に接触させた一対の外部電極とから構成された積層型アクチュエーターにおいて、前記一対の外部電極を前記積層体の同一側面上に設けたことを特徴とする積層型アクチュエーター。
IPC (3件)：
H01L 41/09
, H02N 2/00
, G01B 7/34
