特許

J-GLOBAL ID：200903084735545935

結晶の空間構造の特徴を検出するための方法および装置

発明者： ストックバーガー,ヘルマン
出願人/特許権者： ストックバーガー,ヘルマン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-588595
公開番号（公開出願番号）：特表2002-532714
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】導電性結晶(1)、特に半導体、の空間構造の特徴を検出するために、結晶に測定電流が供給され、電流入口(4)とは異なる結晶個所(3)で電荷分布の測定が行われる。測定された電荷分布と標準分布との関係から空間構造特徴に関する情報が獲得される。定義された時間的空間構造変化を生成するために結晶が音響振動、特に超音波(24)の影響、に曝され、これが測定される。そのために適した装置は、結晶に電流を導入するためのソース電極(4)と、結晶から電流を取り出すためのドレイン電極(3)と、測定された電流から結晶の空間構造に関する情報を獲得するための電子評価回路(20)とを備えた導電性結晶構造(1)からなる。

請求項（抜粋）：

導電性結晶、特に半導体、の空間構造の特徴を検出するための方法において、結晶に測定電流が供給され、電流入口とは異なる結晶個所で電荷分布の測定が行われ、測定された電荷分布と標準分布との関係から空間構造特徴に関する情報が獲得されることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

G01N 27/00 ,  G01N 29/00 ,  H01L 21/66 ,  A61B 8/00

FI (4件)：

G01N 27/00 Z ,  G01N 29/00 ,  H01L 21/66 N ,  A61B 8/00

Fターム (23件)：

2G047BA03 ,  2G047BC03 ,  2G047CA01 ,  2G047CA07 ,  2G047EA10 ,  2G047EA11 ,  2G047GD00 ,  2G060AA15 ,  2G060AE40 ,  2G060AF15 ,  2G060AF20 ,  2G060AG11 ,  2G060AG13 ,  2G060HC10 ,  2G060HE10 ,  2G060KA09 ,  4C301DD30 ,  4C301EE17 ,  4C301GA20 ,  4C301LL20 ,  4M106AA02 ,  4M106BA20 ,  4M106CB30