特許

J-GLOBAL ID：200903084739451250

電子線装置の観察方法

発明者： 大高 正 ,  大蔵 昭光 ,  岩本 寛 ,  戸所 秀男 ,  菰田 孜
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074964
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233185
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【目的】 2次電子を効率良く検出できる状態を予め認識し、最適な状態で観察を行えるようにした電子線装置の観察方法を提供する。【構成】 所望の観察領域を例えば5万倍程度に拡大して観察した後、例えば5000倍程度に倍率を下げて、当該所望の観察領域を含む広い領域を観察する。このとき、先に5万倍で観察した領域が、その周辺よりも全体に暗くなっていれば、試料の表面が正に帯電していると判断する。所望の観察領域が正に帯電していることが確認されたならば、再び倍率を5万倍に戻して観察を行う。また、負に帯電していることが確認されれば、適宜の手段を講じて観察領域を正に帯電させ、その後、観察を行う。

請求項（抜粋）：

所望の観察領域を含む広い範囲で電子線スポットを走査し、その時に得られる観察像の前記所望の観察領域部分が周辺に比べて暗いときに、前記所望の観察領域表面が正に帯電されていると判断することを特徴とする電子線装置の観察方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/244

FI (2件)：

H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-151147
  
• 特開平1-209647