特許

J-GLOBAL ID：200903084740259827

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 雫石 誠 ,  宇家 眞司
出願人/特許権者： 富士フイルムマイクロデバイス株式会社 ,  富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141154
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332548
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 外付け光学ローパスフィルタを必要とせずにモアレを低減することの出来る固体撮像素子を提供する。【解決手段】 固体撮像素子は、2次元表面を画定する半導体基板と、前記半導体基板の受光領域2に複数列、複数行に形成された多数個の光電変換素子と、前記半導体基板上方に形成された平坦化絶縁膜8と、前記平坦化絶縁膜8上方に形成され、それぞれが入射光を2つ以上の光電変換素子に入射させる光学特性を有する複数個のマイクロレンズ12とを有する。

請求項（抜粋）：

2次元表面を画定する半導体基板と、前記半導体基板の受光領域に複数列、複数行に形成された多数個の光電変換素子と、前記半導体基板上方に形成された平坦化絶縁膜と、前記平坦化絶縁膜上方に形成され、それぞれが入射光を2つ以上の光電変換素子に入射させる光学特性を有する複数個のマイクロレンズとを有する固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335

FI (4件)：

G02B 3/00 A ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D

Fターム (27件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA40 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  4M118GD08 ,  5C024CX14 ,  5C024CY33 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5F088AA02 ,  5F088BA16 ,  5F088BA18 ,  5F088BA20 ,  5F088BB03 ,  5F088EA04 ,  5F088HA10 ,  5F088JA12 ,  5F088JA13