特許
J-GLOBAL ID：200903084747560085
層状複合酸化物微粒子を用いた薄膜形成法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049760
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241036
出願日： 1996年03月07日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】【課題】 層状構造を有する複合酸化物の薄膜を、均一な膜厚で均質に形成する方法を提供する。【解決手段】 アミン又はアンモニウム塩を用いて層状複合酸化物の層を剥離して微粒子を作る工程と、前記微粒子を用いて基板上に薄膜を形成する工程とにより、層状複合酸化物の薄膜を形成する。
請求項（抜粋）：
アミン又はアンモニウム塩を用いて層状複合酸化物の層を剥離して微粒子を作る工程と、前記微粒子を用いて基板上に薄膜を形成する工程とから成ることを特徴とする、層状複合酸化物微粒子を用いた薄膜形成法。
IPC (4件)：
C03C 17/25
, C01G 1/00
, C01G 33/00
, C23C 24/00
C03C 17/25 A
, C01G 1/00 B
, C01G 33/00 A
, C23C 24/00
