特許
J-GLOBAL ID:200903084762254497

積層型固体撮像デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高野 明近 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-113130
公開番号(公開出願番号):特開平5-291549
出願日: 1992年04月06日
公開日(公表日): 1993年11月05日
要約:
【要約】【目的】 各画素間補正メモリの数を少なくし、低コスト化,高性能化,高精細化を図る。【構成】 半導体基板28上に回路部12〜15が設けられ、該回路部12〜15の上部には光電変換部21が設けられている。前記回路部12〜15に印加される信号転送用パルスや信号電高読出しパルス等により、前記光電変換部21へのインパルス的ノイズの飛込みが生ずる。この飛込みを静電シールド層16で防止する。
請求項(抜粋):
半導体基板表面に各画素情報を増幅および転送もしくは読出す等の回路部を形成し、該回路部の上部の光電変換部が形成された積層型固体撮像デバイスにおいて、前記半導体基板表面の回路部と前記光電変換部との接続部以外で、前記半導体基板表面の回路部と前記光電変換部との間の一部もしくは全部に静電シールド層を設けたことを特徴とする積層型固体撮像デバイス。
IPC (2件):
H01L 27/146 ,  H04N 5/335

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