特許
J-GLOBAL ID：200903084763975392
シリコン切断廃液からの砥粒回収装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-293729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-109145
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：
【要約】【課題】 シリコン単結晶のワイヤーソー切断において生じる廃砥粒調合油から再利用可能な砥粒を回収する。【解決手段】 a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加して混合・撹拌する希釈槽と、b)この希釈槽に連続して配され、前記希釈槽から抽出剤を添加した廃砥粒調合油を被処理液として沈降分離槽の上部より連続的に供給する流路と、一方前記と同様の抽出剤を沈降分離槽の下部より上向きに注入する流路を備え、所定粒径未満の固形物を含有する溢流液と、所定の粒径以上の固形物を含有する底部排出流とに分離する分級器とを有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収装置である。さらに、上記分級器を粗選分級器とし、この粗選分級器より得られる底部排出流を被処理液としてさらに沈降分離処理するための、上記粗選分級器と同様の構成を有する分級器を精選分級器としてさらに有することが好ましい。
請求項（抜粋）：
シリコン結晶の切断の際に使用される砥粒調合油の廃液からの砥粒の回収に用いられる装置であって、a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加して混合・撹拌する希釈槽と、b)この希釈槽に連続して配され、前記希釈槽から抽出剤を添加した廃砥粒調合油を被処理液として沈降分離槽の上部より連続的に供給する流路と、一方前記と同様の抽出剤を沈降分離槽の下部より上向きに注入する流路を備え、所定粒径未満の固形物を含有する溢流液と、所定の粒径以上の固形物を含有する底部排出流とに分離する分級器と、を有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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