特許

J-GLOBAL ID：200903084764016658

液体の塗布方法および装置

発明者： 生島 和正
出願人/特許権者： 武蔵エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 須藤 阿佐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-137756
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 液体材料の定量吐出を簡易迅速に実現すること。【解決手段】 シリンジ内の液体材料を加圧してシリンジに連通するノズルから所定量の液体材料を塗布描画する方法において、塗布した液体材料の描画形状、好ましくは点または線に関するパラメータ、好ましくは断面積、塗布幅、塗布高および塗布径からなる群から選ばれる一のパラメータを計測し、当該計測値が所望とする規定描画形状に関する当該パラメータの許容する範囲の値に入るように調整する、好ましくは加圧力を調整することにより液体の塗布描画方法。液体材料を貯留するシリンジと、前記シリンジ内の液体材料を加圧または減圧する調圧手段と、前記シリンジに連通し先端に吐出口を具えるノズルと、前記ノズルと前記ワークとを相対的に移動する移動手段と、塗布された液体材料の形状に関するパラメータを計測する計測手段と、計測手段からの信号から適正圧力を算出する演算部と、好ましくはシフト圧力値を入力するシフト圧力入力手段とを具える液体塗布装置。

請求項（抜粋）：

シリンジ内の液体材料を加圧してシリンジに連通するノズルから所定量の液体材料を塗布描画する方法において、塗布した液体材料の描画形状に関するパラメータを計測し、当該計測値が所望とする規定描画形状に関する当該パラメータの許容する範囲の値に入るように調整する液体の塗布描画方法。

IPC (6件)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  B05D 1/30 ,  B05D 3/00 ,  B05D 7/24 301 ,  H01L 21/52

FI (6件)：

B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  B05D 1/30 ,  B05D 3/00 D ,  B05D 7/24 301 P ,  H01L 21/52

Fターム (21件)：

4D075AC12 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075AC95 ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DC19 ,  4D075EA35 ,  4F041AA05 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F042AA06 ,  4F042BA03 ,  4F042BA06 ,  4F042BA12 ,  4F042CB03 ,  4F042CB11 ,  4F042CB24 ,  5F047BB11 ,  5F047BB16 ,  5F047FA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• シール剤の塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-285110   出願人：株式会社東芝
• 自動塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-227860   出願人：日本電気株式会社
• 接着剤塗布方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-234588   出願人：松下電器産業株式会社