特許

J-GLOBAL ID：200903084767298913

多層膜成膜装置

発明者： 鈴木 義雄 ,  小倉 和仁 ,  森田 睦
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051156
公開番号（公開出願番号）：特開2002-256432
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 従来の多層膜成膜装置では基板のキャビティ間の移送に基板搬送ロボットを使用し、キャビテイの開閉にゲートバルブを使用するものであったので、時間がかかり、生産効率が低下して製品がコストアップする問題点を生じていた。【解決手段】 本発明によりキャビティ4の開閉と基板10の移送とを回転テーブル2の回転と上下移動とで行う多層膜成膜装置1としたことで、高価であり、且つ、作動にも時間がかかるゲートバルブ、基板搬送ロボットなどを不要とし、実質的にはロスタイムである、基板10のキャビテイ4間の移送の高速化を可能として課題を解決するものである。

請求項（抜粋）：

中心で回動自在とされ、且つ、上下方向にも移動可能とされて外周近傍の下面に基板ホルダを有する回転テーブルと、該回転テーブルを収納する気密室と、前記気密室の下面に前記回転テーブルの基板ホルダが設けられた位置に対応して設けられる複数のキャビティとから成り、前記回転テーブルを下降させるときには、前記基板ホルダが前記キャビティ内の所定位置に保持されると共に、この回転テーブルの下面が前記キャビティを密閉する蓋となり、前記回転テーブルを上昇させるときには、前記気密室と前記キャビティとが連通して前記基板ホルダが前記キャビティから抜出されて前記回転テーブルが回動自在となり、これにより前記基板ホルダのキャビティ間の搬送が行われることを特徴とする多層膜成膜装置。

IPC (4件)：

C23C 14/56 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H01L 21/203

FI (4件)：

C23C 14/56 G ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H01L 21/203 Z

Fターム (15件)：

3K007AB18 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  5F103AA01 ,  5F103AA08 ,  5F103BB36 ,  5F103BB38 ,  5F103BB49