特許

J-GLOBAL ID：200903084769697025

固体撮像素子およびその製造方法

発明者： 岡崎 雄一 ,  岡部 浩司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 内野 美洋 ,  松尾 憲一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-027821
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241524
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】有効画素領域とOPB画素領域との段差を低減することにより、有効画素領域の周縁部における色および感度の均一性を改善する。【解決手段】転送電極11上に第1の遮光膜12,13を形成し、さらに絶縁膜14、OPB画素領域22の第2の遮光膜15および平坦化膜16を順次形成するに際して、絶縁膜14の形成後、OPB画素領域22上の絶縁膜14を薄膜化し、この薄膜化した絶縁膜14上に第2の遮光膜15を形成する。これにより、有効画素領域21上の絶縁膜14の上面とOPB画素領域22上の第2の遮光膜15の上面との段差が低減された固体撮像素子が得られる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

転送電極上に第1の遮光膜を形成し、さらに絶縁膜、光学的黒画素領域の第2の遮光膜および上層膜を順次形成した固体撮像素子において、 前記光学的黒画素領域上の絶縁膜が薄膜化され、この薄膜化された絶縁膜上に前記第2の遮光膜が形成されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L27/14 ,  H01L27/148 ,  H04N5/335

FI (5件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U ,  H04N5/335 V ,  H01L27/14 B

Fターム (18件)：

4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA13 ,  4M118CA01 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX27 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GZ36