特許

J-GLOBAL ID：200903084771289112

シャワーヘッド及び成膜装置

発明者： 堀江 邦明 ,  小榑 直明 ,  荒木 裕二
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-081326
公開番号（公開出願番号）：特開2001-262351
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 均一性が高く成膜特性がよく、しかも成膜速度を速くすることができるシャワーヘッドを提供すること。【解決手段】 反応室内に配置された基板30に対向して設けられ、多数の原料ガス噴出孔24から原料ガス23を噴出するシャワーヘッド20であって、多数の原料ガス噴出孔24が設けられガス噴出面に多数のガス吸引・排出孔27を設け、発生する副生成物31はガス吸引・排出孔27から速やかに吸引排出される。

請求項（抜粋）：

反応室内に配置された基板に対向して設けられ、多数の原料ガス噴出孔から原料ガスを噴出するシャワーヘッドであって、前記多数の原料ガス噴出孔が設けられガス噴出面に多数のガス吸引・排出孔を設け、該ガス吸引・排出孔の下流側に全ての該ガス吸引・排出孔の出口部で圧力を同圧にするヘッダーを設けたことを特徴とするシャワーヘッド。

IPC (4件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

C23C 16/455 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/31 B ,  H01L 21/302 B

Fターム (20件)：

4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030CA12 ,  4K030EA05 ,  4K030EA11 ,  4K030FA10 ,  4M104BB04 ,  4M104DD43 ,  4M104GG13 ,  5F004AA01 ,  5F004BA06 ,  5F004BB18 ,  5F004BB28 ,  5F004BC08 ,  5F045AA03 ,  5F045BB02 ,  5F045BB09 ,  5F045BB16 ,  5F045DP03 ,  5F045EF05