特許

J-GLOBAL ID：200903084779354134

レーザ励起プラズマ発光分光分析装置

発明者： 福井 勲 ,  深山 隆男
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050133
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249655
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 分析チャンバ内の汚染を防止することにより、高精度の分析を可能とする。【解決手段】 主チャンバ20にはレーザ透過用の窓板23の対向位置に試料開口21を形成し、その開口21に試料面が露出するように試料5を押圧体31の押圧により密着させる。更に、試料5を取り囲むように副チャンバ27を主チャンバ20に密着させ、主チャンバ20と副チャンバ27内をそれぞれ試料5を隔てて独立に気密に保つ。主チャンバ20内には試料5の一部分のみしか露出していないので、試料5に付着している不所望の成分による汚染は最小限に抑えられる。

請求項（抜粋）：

減圧条件下で固体試料にレーザを照射し、それにより発生するプラズマから放出される光を分光分析するレーザ励起プラズマ発光分光分析装置において、a)レーザの照射位置に近接して配置され、半球状に広がるプラズマの中心部分及び頭頂部から発する光を除去するべく試料面に略平行に細長い形状の開口を有する入射光制限手段と、b)該入射光制限手段の開口を通過した光を集光する集光手段と、c)光の分散方向が前記開口の延在方向と同一方向になるように配置された凹面回折格子を含む光分散手段と、を備えることを特徴とするレーザ励起プラズマ発光分光分析装置。

IPC (2件)：

G01N 21/73 ,  G01J 3/443

FI (2件)：

G01N 21/73 ,  G01J 3/443

Fターム (34件)：

2G020BA02 ,  2G020CA01 ,  2G020CB03 ,  2G020CB23 ,  2G020CB54 ,  2G020CC05 ,  2G020CC42 ,  2G020CC46 ,  2G020CD03 ,  2G020CD06 ,  2G020CD11 ,  2G020CD22 ,  2G020DA12 ,  2G043AA01 ,  2G043CA02 ,  2G043CA05 ,  2G043DA06 ,  2G043DA08 ,  2G043EA10 ,  2G043FA01 ,  2G043FA03 ,  2G043GA02 ,  2G043GA08 ,  2G043GB05 ,  2G043GB17 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA05 ,  2G043JA04 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01 ,  2G043NA01 ,  2G043NA06