特許

J-GLOBAL ID：200903084780334775

帯電防止膜及び低屈折率低反射膜及び低反射帯電防止膜

発明者： 森本 剛 ,  真田 恭宏 ,  久保田 恵子 ,  阿部 啓介 ,  竹宮 聡 ,  河里 健 ,  平塚 和也
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267161
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080204
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【構成】SnO2:Sb粒子を分散させた液と、Ti(C5H7O2)n(OR)m(但しn+m=4,m=0〜3,n=1〜4,R=C1〜C4のアルキル基)を含む液とを混合した溶液を基体上に塗布した後、加熱して帯電防止膜を形成する。その上に、MgF2、珪素化合物、Zr化合物、Ti化合物、Al化合物、Sn化合物等を含む液を塗布した後、加熱して低屈折率膜を形成して低反射帯電防止膜を形成する。【効果】十分な帯電防止性能と低反射性能を有し、高耐久性も兼ねそなえた低反射帯電防止膜を実現できる。

請求項（抜粋）：

Ti(C5H7O2)n(OR)m(但しn+m=4,m=0〜3,n=1〜4,R=C1〜C4のアルキル基)のうち少くとも1種、及びSbをドープしたSnO2粒子を含む溶液を基体上に塗布した後、加熱することにより得られた帯電防止膜。

IPC (2件)：

G02B 1/10 ,  H01J 9/20