特許
J-GLOBAL ID:200903084784122187

光導波路基板の検査方法及び実装光部品の検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-388409
公開番号(公開出願番号):特開2003-185526
出願日: 2001年12月20日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 光導波路基板を検査する場合、検査速度を向上させると共に、クロストークを検査することができるようにする。【解決手段】 開示される光導波路の検査方法は、光走査光学系11により被検査体である光導波路基板3の光導波路2の一方端面2Aにレーザ光を入射させ、光導波路2の他方端面2Bから出射した光をCCDカメラ16により検出して検出結果データ21を出力した後、光点位置確認装置17により検出結果データ21と予め記憶している記憶データ20とを比較する。
請求項(抜粋):
光信号を伝送する光導波路を基板上に形成した光導波路基板の検査方法であって、前記光導波路の一方端面にレーザ光を入射させ、前記光導波路の他方端面から出射した前記レーザ光を検出して検出画像情報を求め、該検出画像情報を予め記憶してある基準画像情報と比較して、前記光導波路を導通する光量の良否を判定することを特徴とする光導波路基板の検査方法。
Fターム (1件):
2G086BB01
引用特許:
審査官引用 (2件)

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