特許
J-GLOBAL ID：200903084793903078
X線像観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-262181
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122500
出願日： 1994年10月26日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】試料表面に形成された微細孔の残膜の有無を迅速、容易に判定できるX線像観測装置を得る。【構成】試料1にX線21を照射し発生した蛍光X線50を、光学素子2とピンホール板3で分光し光学素子4で検出器5に拡大結像し、試料1の蛍光X線像を得、また接続された表示装置13で観察する。
請求項（抜粋）：
試料へのX線照射手段を有し、上記試料の観察すべき微細孔の直径または一辺の長さを2aとし深さをdとしたとき、tan(a/d)で定まる角度をθとすると、上記X線照射により発生する蛍光X線を、上記微細孔の中心軸からθの範囲内に定義される領域内で観測できるように、蛍光X線の分光手段と蛍光X線の拡大結像手段と、試料表面の拡大X線像の2次元検出手段とを、この順序で備えたX線像観察装置。
IPC (2件)：
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