特許
J-GLOBAL ID：200903084795084546
カンチレバー状変位素子、カンチレバー型プローブ及びそれを用いた情報処理装置と走査型トンネル顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-276331
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087514
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 逆圧電効果を利用したカンチレバー状変位素子において、大きな変位量を確保しつつ、耐久性、製造の簡易化、集積化等を達成することにある。【構成】 圧電体薄膜5の上下面に、該圧電体薄膜5を圧電効果により変位させるための電極2,6を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜が膜厚方向に分極軸の分極方向が異なって積層されている複数の層3,4よりなる構成を持つカンチレバー状変位素子、を特徴とする。
請求項（抜粋）：
圧電体薄膜の上下面に、該圧電体薄膜を圧電効果により変位させるための電極を設けてなる薄膜カンチレバー状変位素子において、該圧電体薄膜が膜厚方向に分極軸の分極方向が異なって積層されている複数の層よりなる構成を持つことを特徴とするカンチレバー状変位素子。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01L 41/08
