特許
J-GLOBAL ID：200903084798457793
隔膜真空計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-155021
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012668
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】隔膜真空計で圧力測定をする際、広範囲の圧力を測定できることを目的とする。【構成】隔膜真空計内部に圧力圧力測定範囲の異なる独立した複数の隔膜、固定電極を備え、外部信号によりどの隔膜・固定電極間で測定した値を出力するか判定する制御部を備える。これにより、真空容器内の圧力を隔膜真空計で測定する際、広範囲の圧力測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
圧力を測定する真空容器に取り付け、測定室内の圧力により隔膜が変形し、その変形のために内部に設置された固定電極と隔膜間の静電容量の値を圧力に換算する隔膜真空計において、真空計内部に圧力測定範囲の異なる独立した複数の隔膜、固定電極を備え、外部信号によりどの隔膜、固定電極間で測定した値を出力するか判定する制御部を備えることを特徴とる隔膜真空計。
IPC (2件)：
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