特許

J-GLOBAL ID：200903084801692421

アークカウント装置

発明者： 畑山 仁志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-240179
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088338
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】 反応性スパッタリング装置への取り付けが容易で、比較的簡単な構成で実現できるアークカウント装置の提供を課題とする。【解決手段】 ターゲット板29に供給されるカソード電流が異常に増大したときこのカソード電流を一時的に停止し、所定時間後に回復させるアークカット装置31と、ターゲット板29に印加される印加直流電圧と設定可能な閾値電圧とを比較し印加直流電圧が閾値電圧を上回ったことを検出する電圧比較手段を設け、電圧比較手段が印加直流電圧が閾値電圧以上になったことを検出した時アークの発生と判断して計数する。

請求項（抜粋）：

光ディスク表面上に所定のターゲット材料を直流反応性スパッタ法で成膜する直流反応性スパッタリング装置に用いられるアークカウント装置において、ターゲット板に供給されるカソード電流が異常に増大したとき該カソード電流を一時的に停止し、所定時間後に回復させる電流制御手段と、前記ターゲット板に印加される印加直流電圧と設定可能な閾値電圧とを比較し該印加直流電圧が該閾値電圧を上回ったことを検出する電圧比較手段を具備し、前記電圧比較手段が前記印加直流電圧が前記閾値電圧を上回ったことを検出した時アークの発生と判断して計数することを特徴とするアークカウント装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531

FI (2件)：

C23C 14/34 U ,  G11B 7/26 531