特許
J-GLOBAL ID：200903084804117495
圧電アクチュエータ及びその製造方法並びにインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 手島 勝
, 藤田 篤史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-243012
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087547
出願日： 2002年08月23日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】圧電アクチュエータにおいてマイグレーションの発生を防ぐ。【解決手段】圧電アクチュエータは、Crからなる振動板26と振動板26上に形成されたCuからなる共通電極27と、共通電極27上に形成されたPb(Zr,Ti)O3からなる圧電体29と、圧電体29上に形成されたPtからなる個別電極と、圧電体29上に形成されるとともに個別電極に接続された個別電極用配線34とを有している。圧電体29は下部圧電体29aと上部圧電体29bとによって構成されている。下部圧電体29aは共通電極27上に形成されている。上部圧電体29bは下部圧電体29a上に形成されている。上部圧電体29bのPbの組成率は下部圧電体29aのPbの組成率より低い。個別電極用配線34は、各個別電極の一端と各個別電極のそれぞれに電圧を印加する電圧入力端子部とに接続されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
第1電極層と、該第1電極層上に形成された圧電層と、該圧電層上に形成され、上記第1電極層とともに上記圧電層に電圧を印加する第2電極層とを備える圧電アクチュエータであって、
上記圧電層は、上記第1電極層上に形成され、Pbを含む第1電極層側圧電層と、該第1電極層側圧電層上に形成され、Pbを含むとともにPbの組成率が上記第1電極層側圧電層より低い第2電極層側圧電層とを有する圧電アクチュエータ。
IPC (6件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/187
, H01L41/22
H01L41/08 C
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101D
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057AG49
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP15
, 2C057AP31
, 2C057AP33
, 2C057AP52
, 2C057AP54
, 2C057BA04
, 2C057BA14
