特許

J-GLOBAL ID：200903084804665204

欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者： 布施 正樹 ,  高橋 哲生 ,  田代 慎太郎
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-135998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329596
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】 検査対象物について、複数の欠陥検出手段によって欠陥検出処理を行った場合に、重複して検出された欠陥を判定することができる欠陥検査装置及び欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 互いに異なる複数の撮像条件で検査対象物を撮像して、画像データを生成する第一及び第二ラインイメージセンサ11及び12と、画像データに基づいて、互いに異なる検出条件で欠陥検出処理を行う第一〜第四画像処理装置21〜24と、複数の検出された欠陥どうしが検査対象物の同一箇所の欠陥であるか否かを判定するホストコンピュータ3とを備える。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像して画像データを生成する撮像手段と、上記画像データに基づいて、上記検査対象物について、欠陥検出処理を行う複数の欠陥検出手段と、複数の検出された欠陥が、上記検査対象物の同一箇所の欠陥であるか否かを判定する同一性判定手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 7/60 150

FI (5件)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/30 A ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 7/60 150 B

Fターム (75件)：

2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA23 ,  2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065BB15 ,  2F065CC02 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR06 ,  2F065SS01 ,  2F065SS03 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  2G051AA37 ,  2G051AA41 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED04 ,  2G051ED07 ,  5B057AA01 ,  5B057AA17 ,  5B057BA02 ,  5B057BA13 ,  5B057BA19 ,  5B057BA30 ,  5B057CE03 ,  5B057CE06 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA16 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC07 ,  5B057DC22 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA04 ,  5L096CA16 ,  5L096CA17 ,  5L096EA02 ,  5L096EA27 ,  5L096FA13 ,  5L096FA14 ,  5L096FA17 ,  5L096FA62 ,  5L096FA64 ,  5L096FA69 ,  5L096GA28 ,  5L096GA41 ,  5L096GA51 ,  5L096GA55