特許
J-GLOBAL ID：200903084824379534
静電浮上リニアモータの案内支持機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-173881
公開番号（公開出願番号）：特開平5-022960
出願日： 1991年07月15日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 静電浮上リニアモータの案内支持機構において非接触支持用の電極筒を変位センサとしても共用するとともに可動子浮上支持制御電圧に重畳して高周波成分電圧を与えて、変位センサがなくその原点アライメント部材もなしにして機構を著しく簡潔にする手段を提供する。【構成】 第1の駆動電極5を第1の所定のピッチで配置させ、電極5の櫛歯の外側の四隅に第1の浮上電極6を配設した可動子4と、可動子4の移動方向に直交してかつその移動行程に応じた櫛歯状の複数個の第2の駆動電極2を所定のピッチで配置させ、電極2の外側を四分した第2の浮上電極3を配設した固定子1を具備する。浮上電極3,6に直流電圧を印加し制御して可動子を固定子と微小空隙を介して対向し浮上支持させ、駆動電極2,5に電界を発生する電圧を印加して可動子を固定子に沿って移動する。さらに、出力電圧の変化を、ハイパスフィルタあるいはバンドパスフィルタを通じて、可動子の位置検出を行う。
請求項（抜粋）：
移動方向に直交した櫛歯状の複数個の第1の駆動電極を第1の所定のピッチで配置させ、それら第1の駆動電極の櫛歯の外側の四隅に第1の浮上電極を配設した可動子を備え、可動子の移動方向に直交してかつその移動行程に応じた櫛歯状の複数個の第2の駆動電極を所定のピッチで配置させ、それら第2の駆動電極の櫛歯の外側を四分した第2の浮上電極を配設した固定子を具備し、第1および第2の浮上電極に直流電圧を印加し制御して可動子を固定子と微小空隙を介して対向し浮上支持させ、第1および第2の駆動電極に電界を発生する電圧を印加して可動子を固定子に沿って移動すると共に、第1および第2の浮上電極に印加する直流電圧に重畳して高周波励起電圧を印加することで、可動子と固定子間のキャパシタンスの変化から、微小空隙の変化量の検出と浮上支持を1つの機構で行うことを特徴とする静電浮上リニアモータの案内支持機構。
IPC (2件)：
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