基板検査方法及び該方法に用いる基板

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-231197
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051013
出願日： 1991年08月17日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】多くのスペースや費用を要するカメラや画像処理装置を用いることなく、既に備えている移動テーブルの機能を利用して、位置ズレを短時間に且つ自動的に補正することのできる方法を提供することを目的としているものである。【構成】検査対象の基板と検査プローブを備えたヘッド部とを相対的に移動することのできる移動手段を備え、基板のパターンの各位置における導通,非導通を検査して合格/不合格を判定する判定手段を備えた基板検査装置において、基板の判定結果が不合格であった場合には、前記移動手段によって基板若しくはヘッド部を相対的に若干移動させて再検査を行い〔S2,S3〕、再検査によっても不合格の判定結果が出た場合に当該基板に不合格の最終判定を下し〔S5〕、再検査によって合格の判定結果が出た場合に当該基板に合格の最終判定を下す〔S4〕ように構成した。

請求項（抜粋）：

検査対象の基板と検査プローブを備えたヘッド部とを相対的に移動することのできる移動手段を備え、基板のパターンの各位置における導通,非導通を検査して合格/不合格を判定する判定手段を備えた基板検査装置において、基板の判定結果が不合格であった場合には、前記移動手段によって基板若しくはヘッド部を相対的に若干移動させて再検査を行い、再検査によって不合格の判定結果が出た場合に当該基板に不合格の最終判定を下し、再検査によって合格の判定結果が出た場合に当該基板に合格の最終判定を下すように構成したことを特徴とする基板検査方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-153774
特開昭63-151872

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