特許
J-GLOBAL ID:200903084836737908
窒化ケイ素質粉末、窒化ケイ素質粉末の製造方法、窒化ケイ素質焼結体、窒化ケイ素質焼結体の製造方法および回路基板
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-284957
公開番号(公開出願番号):特開2002-097005
出願日: 2000年09月20日
公開日(公表日): 2002年04月02日
要約:
【要約】【課題】 機械的強度に優れ、熱伝導の方向に異方性を持たずに従来に比べて熱伝導率を高めた高熱伝導型窒化ケイ素質焼結体を提供する。【解決手段】 SiO2換算として0.02wt%以上、2wt%未満の酸素を含み、比表面積が0.5m2/g以上である窒化ケイ素質粉末原料を窒素あるいは窒素/水素の非酸性雰囲気下にて、温度1400°C以上で熱処理することを特徴とする窒化ケイ素質粉末の製造方法。
請求項(抜粋):
SiO2換算として0.02wt%以上、2wt%未満の酸素を含み、比表面積が0.5m2/g以上である窒化ケイ素質粉末原料を窒素あるいは窒素/水素の非酸性雰囲気下にて、温度1400°C以上で熱処理することを特徴とする窒化ケイ素質粉末の製造方法。
IPC (2件):
C01B 21/068
, C04B 35/626
FI (2件):
C01B 21/068 R
, C04B 35/58 102 R
Fターム (21件):
4G001BA06
, 4G001BA08
, 4G001BA09
, 4G001BA10
, 4G001BA11
, 4G001BA32
, 4G001BA71
, 4G001BA73
, 4G001BB06
, 4G001BB08
, 4G001BB09
, 4G001BB10
, 4G001BB11
, 4G001BB32
, 4G001BB71
, 4G001BB73
, 4G001BC52
, 4G001BC54
, 4G001BD03
, 4G001BD14
, 4G001BE33
引用特許:
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