異方性薄膜の屈折率及び膜厚測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-038599
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005699
出願日： 1991年03月05日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】異方性薄膜の屈折率と膜厚を同時に測定し得る測定法を提供する。【構成】基板12上に形成された異方性薄膜11中でX,Y,Z軸の夫々の軸方向に電界の振動面を持つ光線に対する屈折率nX,nY,nZ 及び膜厚d1 を求める測定方法であって、?@波長λの単色光を異方性薄膜に入射角を色々と変えて入射させ、各入射角に対するS偏光,P偏光のエネルギー反射率を夫々測定し、夫々の反射率が極値となる時の入射角を求め、?A次に波長λ'(λ≠λ')の単色光を異方性薄膜に入射角を色々と変えて入射させ、各入射角に対するS偏光,P偏光のエネルギー反射率を夫々測定し夫々の反射率が極値となる時の入射角を求め、?B上記?@,?Aで求めたエネルギー反射率が極値となる時の入射角の値を使い、所定の演算に従って異方性薄膜の波長λに対する屈折率nX,nY,nZ、波長λ'に対する屈折率nX',nY',nZ'、及び膜厚d1 を算出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された異方性薄膜の屈折率と膜厚を測定する方法であって、基板面に垂直な方向をZ軸、基板面に平行で互いに直交する方向をX,Y軸と決めたとき、異方性薄膜中でX軸方向に電界の振動面をもつ光線に対する屈折率nX 、Y軸方向に電界の振動面をもつ光線に対する屈折率nY 、Z軸方向に電界の振動面をもつ光線に対する屈折率nZ 、及び膜厚d1 を求める異方性薄膜の屈折率及び膜厚測定方法において、?@まず波長λの単色光を上記異方性薄膜に入射角φ0 を色々と変えて入射させ、各入射角に対するS偏光のエネルギー反射率Rs(φ0)を測定し、Rs(φ0)が極値となる時の入射角φ01,φ02,・・・,φ0m(mは極値の数)を求め、?A次に波長λの単色光を上記異方性薄膜に入射角θ0 を色々と変えて入射させ、各入射角に対するP偏光のエネルギー反射率Rp(θ0)を測定し、Rp(θ0)が極値となる時の入射角θ01,θ02,・・・,θ0M(Mは極値の数)を求め、?B次に波長λ'(λ≠λ')の単色光を上記異方性薄膜に入射角φ0'を色々と変えて入射させ、各入射角に対するS偏光のエネルギー反射率Rs'(φ0')を測定し、Rs'(φ0')が極値となる時の入射角φ01',φ02',・・・,φ0m''(m’は極値の数)を求め、?C次に波長λ’の単色光を上記異方性薄膜に入射角θ0'を色々と変えて入射させ各入射角に対するP偏光のエネルギー反射率Rp'(θ0')を測定し、Rp'(θ0')が極値となる時の入射角θ01',θ02',・・・,θ0M''(M’は極値の数)を求め、?Dそして上記?@?A?B?Cを求めた後、φ01,φ02,・・・,φ0mとφ01',φ02',・・・,φ0m''の値を使い所定の演算に従って上記異方性薄膜のnY とnY'とd1を算出し、θ01,θ02,・・・,θ0Mとθ01',θ02',・・・,θ0M''の値を使い所定の演算に従って上記異方性薄膜のnZ とnZ'を算出し、得られたd1 の値とnZ の値を使って上記異方性薄膜のnX の値を所定の演算に従って算出し、且つ得られたd1の値とnZ'の値を使って上記異方性薄膜のnX'の値を所定の演算に従って算出する(但し、nX,nY,nZ は波長λに対する屈折率、nX',nY',nZ'は波長λ' に対する屈折率)ことを特徴とする異方性薄膜の屈折率及び膜厚測定方法。

IPC (3件)：

G01N 21/23 , G01B 11/06 , G01N 21/41

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