特許
J-GLOBAL ID：200903084847785629
スパッタリング方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-329214
公開番号（公開出願番号）：特開平9-170079
出願日： 1995年12月18日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】正確な電圧、電流または電力を管理できる直列スイッチング式パルススパッタリング方法および装置の提供。【解決手段】半導体スイッチング素子により100kHz以下の任意の周期の断続的な直流波形が印加されるスパッタリング方法において、該半導体スイッチング素子のスイッチング動作が閉の時に該カソードに供給している電圧、電流または電力の平均値を測定し、制御する。
請求項（抜粋）：
ターゲットを装着したカソードに、半導体スイッチング素子により100kHz以下の任意の周期の断続的な直流波形が印加され、異常放電発生時に該スイッチング素子が開くように作動して異常放電の持続を回避するため一時的に電力を遮断する制御が行われるスパッタリング方法において、該半導体スイッチング素子のスイッチング動作が閉のときに該カソードに供給している電圧、電流または電力の平均値を測定し、電圧、電流または電力を制御することを特徴とするスパッタリング方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C23C 14/38
, C23C 14/54
, H01L 21/31
C23C 14/34 U
, C23C 14/38
, C23C 14/54 A
, H01L 21/31 C
