特許
J-GLOBAL ID：200903084848410319
干渉計による平面の絶対検査の方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-012190
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001909
出願日： 1991年02月01日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】平面の絶対測定用の簡単な方法および装置である。同時に2つの平面A6,B6が斜めの入射の下に干渉計の測定光ビーム路の中へ取り付けられる。種々の入射角度α6,β6の場合におよび両方の平面の移動の場合に生ずるインターフエログラムが、計算器により評価される。【効果】平坦性に関して検査されるべき平面そのものを干渉計ミラーとして用いることにより、かつこれらの平面に起因する波頭干渉を記憶することにより、平面の精密な絶対測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
干渉計により生ぜさせられる波頭干渉を測定して以後の評価のために考慮する形式の干渉計による平面の絶対検査法において、2つの検査されるべき平面(A,B)を異なる入射角度(α,β)の下に干渉計の測定光ビーム路の中へ同時に挿入するようにし、さらに両方の平面(A,B)により生ぜさせられた波頭干渉を測定するようにし、さらに少なくとも1つの入射角度(α)を変化させるようにしたことを特徴とする干渉計による平面の絶対検査のための方法。
IPC (2件)：
G01B 11/30 102
, G01B 9/02
