特許
J-GLOBAL ID:200903084856178140

フラットパッケージ及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江原 省吾 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-310719
公開番号(公開出願番号):特開平6-163734
出願日: 1992年11月20日
公開日(公表日): 1994年06月10日
要約:
【要約】【目的】 厚膜のセラミック生シートから収納用凹部を一体成形して工数低減、材料利用率向上及び熱変形防止を実現したフラットパッケージ及びその製造方法を提供する。【構成】 フラットパッケージは、セラミック材料又はセラミックとガラスの混合材料からなる方形厚膜シート2223の表面に、上方に拡開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体形成してなるベースと、ベース表面開口を封着するキャップとを具備する。製造方法は、セラミック材料又はセラミックとガラスの混合材料をスラリー状にする工程と、表面に所定形状で複数の一又は多段凸部を一定の配列ピッチで突設したキャリアシート2223上に材料をドクターブレード法により塗布し、一又は多段凹部を有するセラミックの厚膜シートを形成する工程と、厚膜シートを乾燥させて凹部毎に方形枠状に裁断し、パッケージベースを形成する工程とを含む。
請求項(抜粋):
セラミック材料又はセラミックとガラスの混合材料からなる方形厚膜シートの表面に、上方に拡開した横断面方形状の一又は多段凹部をシートに一体形成してなるベースと、ベース表面開口を封着するキャップとを具備したことを特徴とするフラットパッケージ。
IPC (2件):
H01L 23/10 ,  H03H 9/02

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