特許

J-GLOBAL ID：200903084856630581

ダイシング装置

発明者： 東 正幸
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213896
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064853
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】対向する2本のスピンドルに装着された2枚のブレードを任意の間隔に調整できるようにするとともに、この2枚のブレードを同一直線上に配置できるようにし、任意の2本又は同一のストリートを2枚のブレードで同時に切断することができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明に係るダイシング装置は、軸方向がそれぞれY軸方向と一致し且つ互いに対向する2本のスピンドル64、66を有し、2本のスピンドル64、66に対してワークをX軸方向に移動させ、2本のスピンドル64、66に装着された2枚のブレード68、70によってワークを切断する。これらの2本のスピンドル64、66はY軸方向に移動可能であり、2枚のブレード68、70を任意の間隔に調整できるとともに、スピンドル66はX軸方向に移動可能であり、2枚のブレード68、70同一ストリート上に配置することも可能である。これにより、任意の2本又は同一のストリートを2枚のブレード68、70によって同時に切断することができる。

請求項（抜粋）：

軸方向がそれぞれY軸方向と一致し且つ互いに対向する2本のスピンドルを有し、該2本のスピンドルとワークとをX軸方向に相対的に移動させ、2本のスピンドルに装着された2枚のブレードによって前記ワークを切断するダイシング装置において、前記2本のスピンドルを前記Y軸方向に相対的に移動可能にするとともに、前記X軸方向に相対的に移動可能にし、前記2枚のブレードを互いに対向させ且つ任意の間隔に調整可能にするとともに、前記2枚のブレードをX軸方向の同一直線上に配置可能にしたことを特徴とするダイシング装置。