特許

J-GLOBAL ID：200903084862752818

端面光入射型pin型受光素子

発明者： 柿沼 弘明
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-243706
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087760
出願日： 1997年09月09日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 受光素子の入射面に隣接する受光素子部の側面を光の入射方向に対して基板面で斜めにすることにより、高速度化と高感度化を両立させることができる端面光入射型pin型受光素子を提供する。【解決手段】 劈開面をなすフォトダイオード部の端面13Aから光を入射させるpin型受光素子において、フォトダイオード部の側面13Bと前記劈開面をなすフォトダイオード部の端面13Aのなす角度の補角θがsin-1(n2/n1 )(n1 :i層15である吸収層の屈折率、n2 :前記吸収層外部の屈折率)よりも大きく、90°よりも小さくなるように構成する。

請求項（抜粋）：

劈開面をなすフォトダイオード部の端面から光を入射させるpin型受光素子において、前記フォトダイオード部の側面と前記劈開面をなすフォトダイオード部の端面のなす角度の補角θがsin-1(n2 /n1 )(n1 :i層である吸収層の屈折率、n2 :前記吸収層外部の屈折率)よりも大きく、90°よりも小さくなるように構成することを特徴とする端面光入射型pin型受光素子。