特許
J-GLOBAL ID：200903084899721017
容量型センサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-544015
公開番号（公開出願番号）：特表2003-516539
出願日： 2000年09月06日
公開日（公表日）： 2003年05月13日
要約：
【要約】【課題】 エージングプロセスをできるだけ受けないセンサーを提供する。【解決手段】 センサー、特に湿度センサーであって、測定層(4)を備え、測定層(4)の誘電特性が、測定すべきパラメータ、例えば周囲大気の湿度パラメータに依存するセンサー。複数の電極(2、3)が、基板(1)上に、測定層(1)の容量測定を行なうために並行して配置されている。非酸化性材料の保護層(8)、特に酸化珪素または金からなる層が、電極(2、3)と測定層(4)との間に配置されている。この層によって、電極(2、3)の酸化が防止され、センサーの寿命および信頼性が増す。
請求項（抜粋）：
その誘電特性が測定すべきパラメータに依存する測定層と、基板と、測定層を容量測定するために基板上に並行して配置された複数の電極とを備えるセンサー、特に湿度センサーであって、 防気性で非酸化性の材料からなる保護層が、電極と測定層との間に配置されていることを特徴とするセンサー。
Fターム (8件)：
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF10
, 2G060AG06
, 2G060AG08
, 2G060AG10
, 2G060AG15
